Automatisierte Handhabung von Halbleiterkomponenten

Automatisierte Handhabung von Halbleiterkomponenten

Erler hat für den Leiterplattenhersteller Schweizer Electronic eine Roboterzelle für die automatisierte Handhabung kleiner Halbleiterkomponenten entwickelt. In ihr setzt ein Scara-Roboter von Stäubli bis zu 31.000 Chips pro Stunde von einem Standard-Tray in eine Spezialhalterung für das anschließende Ätzbad um. Möglich machen das 176 Flachsauggreifer von Schmalz. Die Lösung besteht aus einer Roboterzelle, an die die Trays manuell in einem Transportwagen angeliefert werden.

Bild: J. Schmalz GmbH

Über ein Servoachssystem fahren die einzelnen Trays in die Zelle. Hier nimmt der Roboter gleichzeitig alle 176 Komponenten auf und legt sie in das SE-Tray ab. Zum Einsatz kommt dabei der Flachsauger PFYN von Schmalz. Die Greifer bewegen sich aufgrund ihrer Geometrie nur minimal in axialer Richtung und sind so steif, dass sie die Werkstücke sauber aufnehmen und exakt wieder ablegen ohne zu verkanten. Die im Durchmesser 6mm kleinen, gelben Sauger bestehen aus dem Nitrilkautschuk NBR-ESD. Das Material schützt die empfindlichen Bauteile vor unkontrollierter elektrostatischer Entladung und ist zugleich beständig gegenüber Chemikalien. Der Greifer, der die Chips aus dem Tray entnimmt und sie in die Spezialhalterung für das Ätzbad einsetzt, misst 320x140mm. Durch den Aluminiumgrundkörper wiegt er lediglich 2,5kg. Für eine einfache Montage an das Robotersystem verfügt er über eine vorgefertigte Flanschaufnahme. Das Vakuum im Greifer wird durch einen in der Anlage verbauten IO-Link-fähigen Kompaktejektor vom Typ SCPMi erzeugt.

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