Anzeige
Advertisement
Anzeige
Advertisement
Anzeige

Berührungslose Wafer-Handhabung

Mit Hilfe des Ultraschalllagers von ZS-Handling können Substrate gleichmäßig auf einem durch Schwingungen generierten Luftfilm schweben und dadurch während des Handlings berührungslos gehalten werden.

Bild: ZS-Handling GmbH

Durch eine Kombination aus Unterdruck und Ultraschall wirken gleichzeitig anziehende und abstoßende Kräfte auf das Werkstück und halten es somit auch beim Greifen von oben auf Abstand. Durchbiegungen und Wölbungen lassen sich dabei bis zu einem gewissen Grad ausgleichen. Die Ultraschallbewegung der sogenannten Sonotrode erzeugt dabei einen tragenden Gasfilm (Luft oder Prozessgas) zwischen der Sonotrodenoberfläche und dem Substrat. Das Substrat schwebt auf dem entstandenen Gasfilm in Abständen von 10 bis 150m. Unter Ausnutzung von Auftriebskräften durch Vakuum wird eine Handhabung von oben ermöglicht. Auf diese Weise wird jeder mechanische Oberflächenkontakt vermieden. Diese Technik macht sich zum Beispiel das Waferhandling-System LeviWafer des Unternehmens zu Nutze.

Berührungslose Wafer-Handhabung
Bild: ZS-Handling GmbH


Empfehlungen der Redaktion

Das könnte Sie auch interessieren

Wie die gesamte Familie der Gabelhub-FTSen hat DS Automotion auch das neue Modell Arny komplett als fahrerloses Transportfahrzeug ausgelegt. Trotz des – für einen Gegengewichtsstapler erforderlichen – höheren Gewichts ist sein Wendekreis sehr klein, sodass er auch in engen Gängen gut navigieren kann. Dabei befördert es selbst sehr schwere Lasten in außergewöhnliche Höhen. ‣ weiterlesen

Anzeige

Zum Portfolio von Contrinex gehören unter anderem induktive Sensoren mit Durchmessern von 3 und 4mm bei Gehäuselängen bis 12mm. Die Miniatursensoren DW-AD-623-03-960 mit einem Schaltabstand von 1mm bieten besonders hohe Wiederholgenauigkeit und Präzision auf wenig Raum. Anspruchsvolle Werkzeugmaschinen sind dabei das Haupteinsatzgebiet, da solche Miniatursensoren weniger Kompromisse bei der Maschinenauslegung erfordern. ‣ weiterlesen

Anzeige

Als Vertriebspartner von Inspectis bietet ATEcare ein BGA-Inspektionssystem mit Seitenansicht an. Das System besteht aus einer kleinen optischen Sonde mit integrierter Hochleistungsbeleuchtung, die einen Betrachtungswinkel von 90° bietet. Das System eignet sich, um hochauflösende Bilder unterhalb von BGAs, BGAs, CSP, CGA und FlipChip-Paketen zu erzeugen. ‣ weiterlesen

Anzeige

Damit Roboter ihre Umwelt räumlich wahrnehmen können, hat ein Forscherteam am Fraunhofer IPMS einen Microscanner-Spiegel entwickelt. Ähnlich wie beim menschlichen Sehen sollen Roboter Objekte erfassen können und so anspruchsvolle Aufgaben übernehmen. ‣ weiterlesen

Anzeige

Der NSK-Vertriebspartner MCA Linear Motion Robotics hat eine Demonstrationszelle mit einem Monocarrier-Linearantrieb aus der MCM-Serie von NSK und einem Yaskawa-Roboter entwickelt. Die Demonstrationszelle besteht aus einem steifen und dennoch leichten Grundrahmen aus Aluminiumprofilen. ‣ weiterlesen

Anzeige

Beim Karosseriebau des Audi A6 im Audi-Werk in Neckarsulm entnimmt ein Roboter Dachrahmen aus einer Schublade, legt sie auf die Karosse, um diese anschließend miteinander zu verschweißen. ‣ weiterlesen