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Mobile Roboter für die Halbleiterproduktion

Mit der Wafer Handling Solution stellt Kuka eine mobile Lösung vor, die Halbleiterkassetten transportieren und handhaben kann. Basis ist die mobile Plattform KMR 200 CR, deren Mecanum-Räder eine omnidirektionale Bewegung ermöglichen. Sensoren an der Plattform nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen.

Kuka hat eine speziell auf die Halbleiterfertigung abgestimmte Handling-Lösung vorgestellt. (Bild: Kuka AG)

Kuka hat eine speziell auf die Halbleiterfertigung abgestimmte Handling-Lösung vorgestellt. (Bild: Kuka AG)

Der auf der Plattform verbaute MRK-Roboter LBR iiwa kann die Wafer-Kassetten erschütterungsfrei handhaben. Dritter Teil der Applikation ist ein maßgeschneidertes Greifersystem. Bei der Reinraumanwendung stammt auch die Software von Kuka. Sie lässt sich laut Anbieter problemlos in das MES der Halbleiterproduzenten einfügen.

Mobile Roboter für die Halbleiterproduktion
Bild: Kuka AG


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